1. Введение
Современные силовые полупроводниковые приборы требуют не просто точного, но и реалистичного тестирования, способного учитывать все аспекты их работы. Такие транзисторы, как GaN HEMT, MOSFET, IGBT и BJT, широко применяются в промышленной электронике, энергетике, телекоммуникациях и других отраслях. Для их эффективного использования необходимо проводить измерения вольт-амперных характеристик (ВАХ) в условиях, приближенных к реальным эксплуатационным режимам.
Techmize TH500 — это инструмент, разработанный для высокоточных импульсных измерений ВАХ (Pulsed IV), исключающих влияние перегрева, зарядовых ловушек и временных задержек (drain/gate lag). Система предлагает решения для исследовательских лабораторий, промышленных испытательных стендов и производителей силовой электроники.
Импульсная система измерения ВАХ TH500
2. Зачем нужны импульсные измерения ВАХ?
2.1. Определение ВАХ
Вольт-амперная характеристика (ВАХ) отражает зависимость тока, протекающего через полупроводниковый прибор, от приложенного к нему напряжения. В силу нелинейных эффектов, характерных для силовых транзисторов, таких как GaN HEMT и IGBT, измерения ВАХ в статическом режиме не всегда дают корректное представление об их работе.

2.2. Преимущества импульсных измерений
Обычные статические методы измерений зачастую не учитывают реалистичные эксплуатационные условия. Импульсные методы тестирования позволяют:
- Минимизировать самонагрев, предотвращая искажения данных.
- Оценивать переходные процессы, включая задержки включения и выключения.
- Анализировать работу прибора в динамическом режиме, что особенно важно для устройств, работающих с высокой частотой переключений.
3. Принципы работы
3.1. Физические процессы в полупроводниках при импульсном тестировании
Импульсные измерения позволяют детально анализировать ключевые процессы в структуре полупроводникового прибора:
- Инжекция и рекомбинация носителей: Быстрые изменения напряжения приводят к инжекции носителей заряда в область p-n-перехода, где они могут рекомбинировать, влияя на токовые характеристики прибора.
- Зарядовые ловушки (trap states): Дефекты в кристаллической решётке могут захватывать носители заряда, создавая локальные состояния, которые влияют на динамическое поведение прибора.
- Эффекты задержки (lag effects): Наличие ловушек и других факторов может приводить к задержкам в реакции прибора на приложенное напряжение, проявляющимся как drain lag и gate lag.
3.2. Предимпульсная настройка (pre-pulse) и её роль в измерениях
Предимпульсная настройка (pre-pulse) – это предварительный импульс, подаваемый на прибор перед основным измерением. Её основные цели:
- Стабилизация состояния ловушек: Pre-pulse позволяет заполнить или освободить зарядовые ловушки, приводя прибор в определённое состояние перед основным измерением.
- Повышение воспроизводимости: Установив начальные условия, можно снизить разброс результатов между измерениями, обеспечивая более точные и надёжные данные.
4. Ключевые характеристики
- Минимальная ширина импульса — 200 нс, что позволяет исследовать быстродействующие приборы.
- Максимальное напряжение — 250 В (на стоковом модуле TH500B).
- Максимальный ток — 33 А в импульсном режиме.
- Частота переключения — до 500 кГц.
- Разрешение программирования напряжения — 1 мВ (18 бит) для стокового модуля и 0.8 мВ (16 бит) для затворного модуля.
- Совместимость с зондовыми станциями — поддержка wafer-level тестирования.
- Интерфейсы управления — USB, LAN, SCPI для интеграции в автоматизированные системы.
5. Применение TH500 в тестировании силовых транзисторов
Системы TH500 применяются в тестировании широкого спектра силовых полупроводниковых приборов, включая:
- GaN HEMT — анализ радиочастотных усилителей мощности.
- MOSFET — исследование характеристик силовых ключей.
- IGBT — тестирование транзисторов для преобразовательной техники.
- SiC — испытания устройств с повышенной термостойкостью.
6. Заключение
Система для измерения ВАХ в импульсном режиме TH500 – это оптимальный выбор для лабораторий, исследовательских центров и разработчиков силовой электроники. Она объединяет высокую точность, гибкость и интеграцию в автоматизированные системы, делая процесс тестирования быстрым, точным и надёжным. Благодаря своей архитектуре, TH500 позволяет исследовать динамические процессы в полупроводниках, что делает её незаменимым инструментом для инженеров и исследователей.
