Предназначен для измерения паразитных емкостных параметров и анализа ВФХ диодов, триодов, МОП-транзисторов, БТИЗ, тиристоров, интегральных схем, оптоэлектронных чипов и т.д; анализа ВФХ отдельных кристаллов после резки пластин; анализа коэффициентов упругости жидкокристаллических материалов. Продвинутый дизайн: LCR+напряжение затвора, VGS+напряжение стока, VDS+коммутация каналов+программное обеспечение для управления с удаленного ПЭВМ. Три метода тестирования: отдельный чип (выборочное тестирование), модуль (сканирование по списку), построение графических зависимостей (опционально). Быстрое тестирование с технологией быстрой зарядки конденсаторов. Автоматическая установка времени задержки. Защита от пробоя высоким напряжением. Функции блокировок безопасности при работе с высоким напряжением. Возможность хранения данных и результатов измерений. 10.1-дюйма емкостной сенсорный дисплей. Интерфейсы: USB HOST, USB DEVICE, LAN, HANDLER, RS232C, RS485. Габариты составляют 430x177x405 мм, масса — до 16 кг.
Функциональные возможности
- Продвинутый дизайн: LCR+напряжение затвора, VGS+напряжение стока, VDS+коммутация каналов+программное обеспечение для управления с удаленного ПЭВМ
- Напряжение затвора VGS: от 0 до ±40 В
- Напряжение стока VDS: от 0 до ±200 В/±1500 В/±3000 В
- Три метода тестирования: отдельный чип (выборочное тестирование), модуль (сканирование по списку), построение графических зависимостей (опционально)
- Четыре паразитных параметра (Ciss,Coss,Crss,Rg или Cies,Coes,Cres,Rg)
- Измерения в один клик и вывод результатов в едином окне
- 2 канала (стд. компл.), расширение до 6 каналов (опц.), тестирование отдельных чипов, многоядерных или модульных устройств (TH513 - только 1 канал)
- Построение графических зависимостей CV и Ciss-Rg
- Быстрое тестирование с технологией быстрой зарядки конденсаторов
- Проверка наличия контакта
- Тест на проводимость КЗ-ХХ
- Автоматическая установка времени задержки
- Функция "Crss Plus" - решение проблемы отрицательного Crss на ВЧ
- Защита от пробоя высоким напряжением - решение проблемы избыточного обратного напряжения затвора на входе прибора
- Функции блокировок безопасности при работе с высоким напряжением
- Функция Cs-V: измерение и анализ ВФХ диодного перехода
- Функция преобразования эквивалентного режима, режим Cs или Cp опционально
- 10 уровней сортировки
Область применения
- Полупроводниковые устройства/Силовые компоненты
Измерение паразитных емкостных параметров и анализ ВФХ диодов, триодов, МОП-транзисторов, БТИЗ, тиристоров, интегральных схем, оптоэлектронных чипов и т.д.
- Полупроводниковые материалы
Анализ ВФХ отдельных кристаллов после резки пластин.
- Жидкокристаллические материалы
Анализ коэффициентов упругости
|
Параметр |
Значение |
||
|
Модель |
TH513 |
||
|
Каналы |
1 |
||
|
Дисплей |
Тип |
10.1-дюйма емкостной сенсорный дисплей |
|
|
Отношение сторон |
16:9 |
||
|
Разрешение |
1280×RGB×800 |
||
|
Измеряемые параметры |
CISS, COSS, CRSS, Rg. Произвольный выбор четырех измеряемых параметров |
||
|
Режим измерений LCR |
√ |
------ |
|
|
Частота тестового сигнала |
Диапазон |
от 10 кГц до 2 МГц |
|
|
Погрешность установки |
± 0.01 % |
||
|
Разрешение |
10 мГц |
от 1.00000 до 9.99999 кГц |
|
|
100 мГц |
от 10.0000 до 99.9999 кГц |
||
|
1 Гц |
от 100.000 до 999.999 кГц |
||
|
10 Гц |
от 1.00000 до 2.00000 МГц |
||
|
Уровень тестового сигнала |
Диапазон напряжений |
от 5 мВ до 2 В (СКЗ) |
|
|
Погрешность |
± (0.1 x Uуст. + 2 мВ) |
||
|
Разрешение |
1 мВ (СКЗ) |
от 5 мВ до 1 В (СКЗ) |
|
|
10 мВ (СКЗ) |
от 1 до 2 В (СКЗ) |
||
|
VGS |
Диапазон |
от 0 до ±40 В |
|
|
Погрешность |
± (0.01 x Uуст. + 8 мВ) |
||
|
Разрешение |
1 мВ |
от 0 до ±10 В |
|
|
10 мВ |
от ±10 до ±40 В |
||
|
VDS |
Диапазон |
от 0 до ±3000 В |
|
|
Погрешность |
± (0.01 x Uуст.+ 100 мВ) |
||
|
Выходной импеданс |
100 Ом，±2 % на 1 кГц |
||
|
Расчетные значения |
Абсолютное отклонение от номинала Δ, относительное отклонение от номинала Δ % |
||
|
Функция калибровки |
ХХ (OPEN), КЗ (SHORT), СН (LOAD) |
||
|
Диапазон уст. коэфф. усреднения |
от 1 до 255 |
||
|
Время аналого-цифрового преобразования (в зависимости от выбранного режима) |
Fast+: 2.5 мс (＞5 кГц), Fast: 11 мс, Middle: 90 мс, Slow: 220 мс. |
||
|
Основная погрешность |
± 0.1 % |
||
|
CISS、COSS、CRSS |
от 0.00001 пФ до 9.99999 Ф |
||
|
Rg |
от 0.001 мОм до 99.9999 МОм |
||
|
Δ% |
±（0.000% - 999.9%） |
||
|
Список параметров сканирования |
Кол-во точек |
20 точек, каждой из которых соответствует строка в списке сканирования, для каждой точки можно задать число усреднений и порядок следования в списке |
|
|
Параметры |
Частота тестового сигнала, Vg, Vd, канал |
||
|
Режим запуска |
Последовательность: при поступлении сигнала запуска выполняются измерения на всех точках списка, сигналы /EOM/INDEX выдаются однократно по завершении. |
||
|
Пошаговый: измерение только на одной точке при каждом запуске, для каждой точки выдаются сигналы /EOM/INDEX, но результат выдается при последнем /EOM |
|||
|
Построение графических зависимостей |
Кол-во точек |
Может быть задано произвольно, до 1001 точки |
|
|
Отображение результатов |
Несколько зависимостей одного параметра при разных значениях Vg; Несколько зависимостей разных параметров при одинаковых значениях Vg. |
||
|
Масштаб отобрашения |
Изменяющийся автоматически в режиме реального времени, фиксированный |
||
|
Формат осей |
Логарифмический, линейный |
||
|
Параметры |
Vg,Vd |
||
|
Режимы запуска |
Однократный |
Однократный запуск в ручном режиме, выполняется одно сканирование от начальной до конечной точки, при повторном запуске сканирование начинается с первой точки |
|
|
Непрерывны |
й Непрерывное циклическое сканирование от первой до последней точки |
||
|
Сохранение результатов |
График, файл данных |
||
|
Допусковый контроль |
Кол-во ячеек (Bin) |
10 Bin,PASS,FAIL |
|
|
Настройки отклонения |
Абсолютное отклонение, относительное отклонение %, отключено (Off) |
||
|
Режим |
Допуск, непрерывно |
||
|
Глубина счетчика Bin |
0-99999 |
||
|
Критерий принятия решения |
Для каждой ячейки Bin можно задать верхнюю и нижнюю границы поля допуска по 4-м параметрам. Если один из 4-х контролируемых параметров выходит за поле допуска, отображаться "FAIL". Если задана только одна граница (верхняя или нижняя) - допуск односторонний, если ни одна не задана - параметр игнорируется. |
||
|
Индикация PASS/FAIL |
Параметры Bin 1-10 в допуске - индикация "PASS", в противном случае - "FAIL". |
||
|
Хранение данных |
201 результат измерений может быть считан по группам параметров |
||
|
Сохранение файлов |
Внутренняя память |
Порядка 100 МБ энергонезависимой памяти для хранения файлов настроек измерений |
|
|
Внешний USB |
Файлы настроек измерений, скриншоты, файлы логов |
||
|
Блокировка клавиш |
Клавиши передней панели могут быть блокированы, другие функции будут расширены |
||
|
Интерфейсы |
USB HOST |
2 разъема USB HOST, к каждому из которых могут быть подключены клавиатура и мышь, одновременно можно использовать только один USB-диск |
|
|
USB DEVICE |
Разъем USB, тип B (4 контакта); совместим с USB TMC-USB488 и USB2.0, гнездо для подключения внешних контроллеров. |
||
|
LAN |
10/100M Ethernet, 8 контактов, две опции скорости |
||
|
HANDLER |
Используется для вывода сигналов состояния ячеек Bin |
||
|
RS232C |
Стандартный 9-контактный, перекрестный |
||
|
RS485 |
Для подключения модулей расширения или внешнего модуля RS232 - RS485 |
||
|
Время прогрева после включения |
60 минут |
||
|
Параметры питающей сети |
Напряжение 110±10 В или 220±22 В опционально, частота от 47 до 63 Гц |
||
|
Потребляемая мощность |
Не менее 130 В·А |
||
|
Габариты (ШxВxД) |
430x177x405 мм |
||
|
Масса |
не более 16 кг |
||